谈超声波清洗剂技术以及应用范围

    超声波技术背景：

    超声波清洗剂技术最早出现在20世纪30年代初。当时，位于美国新泽西州的美国无线电公司实验室的技术人员试图用自制的简单超声波清洗系统清洗某些物体，但实验失败。当时使用的超声波工作频率在20~40kHz之间。这范围内的超声波应用于数千种不同的工作场合，其中许多是其他清洗方法不能很好地发挥作用的场合。然而，在某些情况下，超声波强大的能量也会损坏粘结污垢和脆弱的基材。在过去的十年里，超声波领域出现了一些技术创新，提高了去除敏感基础上污垢的安全系数。因此，对工件施加很大的能量，特别适合清除附着在基底上的污垢。谈到超声波技术，特别是中高频超声波清洗技术有了新的发展，成为行业的亮点。

     近年来，人们发现使用兆声波(根据超声波的频率不同，40kHz及以下称为常规或低频超声波，1000kHz以上称为高频超声波，也称为兆频超声波，简称兆声波)清洗可以去除半导体材料表面的超细污垢颗粒，不会损伤基底材料表面。目前，该技术已迅速普及。